| 国家/地区 |
China（2）
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| 关键词 |
PECVD（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 | |
| 机构 | |
| 作者 |
WANG CH（2）
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MATERIALS RESEARCH EXPRESS
LUO AL, XU Y, ZHOU H, YUAN ZH, CAO B, WANG CH, XU K
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
XU LY, XU Y, LUO AL, ZHOU H, CAO B, WANG CH, XU K