国家/地区 China(3)
关键词 PECVD(3)
出版物
出版时间 2020(3)
机构
作者

MATERIALS RESEARCH EXPRESS

LUO AL, XU Y, ZHOU H, YUAN ZH, CAO B, WANG CH, XU K

APPLIED SURFACE SCIENCE

ZHANG PB, JIANG XY, FANG XH, YANG LY, CHEN XY