国家/地区 | China(3) |
关键词 | PECVD(3) |
出版物 | |
出版时间 | 2020(3) |
机构 | |
作者 |
ADVANCED MATERIALS INTERFACES
WU ZH, ZHANG YS, SHEN YL, ZHANG W, SHAO GS
MATERIALS RESEARCH EXPRESS
LUO AL, XU Y, ZHOU H, YUAN ZH, CAO B, WANG CH, XU K
APPLIED SURFACE SCIENCE
ZHANG PB, JIANG XY, FANG XH, YANG LY, CHEN XY