国家/地区 China(2)
关键词 PECVD(2)
出版物 CERAMICS INTERNATIONAL(2)
出版时间
机构
作者

CERAMICS INTERNATIONAL

JI WW, LIU YJ, SHAN ZQ, ZHANG XD, DING F, LI XG

CERAMICS INTERNATIONAL

REN J, HAN JM, MA YF, WANG M, TONG ZM, SUHR J, XIAO LT, JIA ST, CHEN XY