国家/地区 | Usa(3) |
关键词 | PECVD(3) |
出版物 | ACS APPLIED MATERIA.(2) |
出版时间 | 2021(3) |
机构 | |
作者 | LU CH(2) YEH NC(2) |
NANOTECHNOLOGY
ZHANG SN, ARFAEI B, CHEN ZH
ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES
LU CH, LEU YM, YEH NC
ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES
LU CH, LEU CM, YEH NC