国家/地区 Usa(2)
关键词 PECVD(2)
出版物
出版时间 2022(2)
机构
作者

ACS APPLIED NANO MATERIALS

LU CH, SHANG KM, LEE SR, TAI YC, YEH NC

ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES

LONGO RC, UEDA H, CHO K, RANJAN A, VENTZEK PLG