国家/地区 Korea(2)
关键词 PECVD(2)
出版物
出版时间 2015(2)
机构
作者

KOREAN JOURNAL OF METALS MATERIALS

YUN K, CHEANG D, HYUN J, ROH A, HEO S, CHENG LX, KIM JY, CHA PR, LEE J, NAM HS