国家/地区
关键词 PECVD(2)
出版物
出版时间 2018(2)
机构
作者

JOURNAL OF PHYSICS DAPPLIED PHYSICS

GHOSH S, POLAKI SR, KAMRUDDIN M, JEONG SM, OSTRIKOV K

FUNCTIONAL MATERIALS LETTERS

REN LP, WANG W, YU CL, DUAN SS, MA WJ, ZHANG K