国家/地区
关键词 PECVD(3)
出版物
出版时间 2023(3)
机构
作者

BULLETIN OF MATERIALS SCIENCE

ANGHEL E, ADIACONITA B, AVRAM A, MIHAILESCU C, PACHIU C, BRINCOVEANU O, POPESCU RC, DEMETRESCU I

ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES

LU CH, SHANG KM, LEE SR, LEU CM, TAI YC, YEH NC