| 国家/地区 |
China（2）
|
| 关键词 |
PECVD（2）
|
| 出版物 | |
| 出版时间 | |
| 机构 |
JILIN UNIV（2）
|
| 作者 | QI JL（2） WANG X（2） ZHENG WT（2） |
CHINESE SCIENCE BULLETIN
QI JL, ZHANG LX, CAO J, ZHENG WT, WANG X, FENG JC
APPLIED SURFACE SCIENCE
QI JL, ZHENG WT, ZHENG XH, WANG X, TIAN HW