国家/地区 | |
关键词 | PECVD(2) |
出版物 | ACS APPLIED NANO MATERIALS(2) |
出版时间 | 2022(2) |
机构 | |
作者 |
ACS APPLIED NANO MATERIALS
LU CH, SHANG KM, LEE SR, TAI YC, YEH NC
ACS APPLIED NANO MATERIALS
KHAN A, GONG JK, KUMAR RR, AHMED S, YANG DR, YU XG
国家/地区 | |
关键词 | PECVD(2) |
出版物 | ACS APPLIED NANO MATERIALS(2) |
出版时间 | 2022(2) |
机构 | |
作者 |
ACS APPLIED NANO MATERIALS
LU CH, SHANG KM, LEE SR, TAI YC, YEH NC
ACS APPLIED NANO MATERIALS
KHAN A, GONG JK, KUMAR RR, AHMED S, YANG DR, YU XG