国家/地区 China(2)
关键词 PECVD(3)
出版物 APPLIED SURFACE SCIENCE(3)
出版时间
机构
作者

APPLIED SURFACE SCIENCE

ZHANG PB, JIANG XY, FANG XH, YANG LY, CHEN XY

APPLIED SURFACE SCIENCE

KIM HU, KIM M, JIN Y, HYEON Y, KIM KS, AN BS, YANG CW, KANADE V, MOONN JY, YEOM GY, WHANG D, LEE JH, KIM T