国家/地区 | China(2) |
关键词 | PECVD(3) |
出版物 | APPLIED SURFACE SCIENCE(3) |
出版时间 | |
机构 | |
作者 |
APPLIED SURFACE SCIENCE
ZHANG PB, JIANG XY, FANG XH, YANG LY, CHEN XY
APPLIED SURFACE SCIENCE
KIM HU, KIM M, JIN Y, HYEON Y, KIM KS, AN BS, YANG CW, KANADE V, MOONN JY, YEOM GY, WHANG D, LEE JH, KIM T
APPLIED SURFACE SCIENCE
QI JL, ZHENG WT, ZHENG XH, WANG X, TIAN HW