国家/地区 | China(2) |
关键词 | PECVD(2) |
出版物 | APPLIED SURFACE SCIENCE(2) |
出版时间 | |
机构 | |
作者 |
APPLIED SURFACE SCIENCE
ZHANG PB, JIANG XY, FANG XH, YANG LY, CHEN XY
APPLIED SURFACE SCIENCE
QI JL, ZHENG WT, ZHENG XH, WANG X, TIAN HW
国家/地区 | China(2) |
关键词 | PECVD(2) |
出版物 | APPLIED SURFACE SCIENCE(2) |
出版时间 | |
机构 | |
作者 |
APPLIED SURFACE SCIENCE
ZHANG PB, JIANG XY, FANG XH, YANG LY, CHEN XY
APPLIED SURFACE SCIENCE
QI JL, ZHENG WT, ZHENG XH, WANG X, TIAN HW