国家/地区 |
China(2)![]() |
关键词 |
PECVD(2)![]() |
出版物 |
APPLIED SURFACE SCIENCE(2)![]() |
出版时间 | |
机构 | |
作者 |
APPLIED SURFACE SCIENCE
ZHANG PB, JIANG XY, FANG XH, YANG LY, CHEN XY
APPLIED SURFACE SCIENCE
QI JL, ZHENG WT, ZHENG XH, WANG X, TIAN HW