| 国家/地区 |
China（2）
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| 关键词 |
PECVD（2）
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| 出版物 |
MATERIALS RESEARCH EXPRESS（2）
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| 出版时间 | |
| 机构 | |
| 作者 |
MATERIALS RESEARCH EXPRESS
LUO AL, XU Y, ZHOU H, YUAN ZH, CAO B, WANG CH, XU K
MATERIALS RESEARCH EXPRESS
QI JL, ZHANG F, ZHANG LX, CAO J, FENG JC