国家/地区 Usa(2)
关键词 PECVD(3)
出版物 NANOTECHNOLOGY(3)
出版时间 2020(2)
机构
作者

NANOTECHNOLOGY

HUSSAIN S, KOVACEVIC E, BERNDT J, SANTHOSH NM, PATTYN C, DIAS A, STRUNSKUS T, AMMAR MR, JAGODAR A, GAILLARD M, BOULMERLEBORGNE C, CVELBAR U