国家/地区 |
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关键词 |
PLASMA CVD(3)![]() |
出版物 | |
出版时间 | |
机构 | |
作者 |
APPLIED PHYSICS LETTERS
NANDAMURI G, ROUMIMOV S, SOLANKI R
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
BAGGEHANSEN M, OUTLAW RA, ZHU MY, CHEN HJ, MANOS DM
NANO LETTERS
MEHTA R, CHUGH S, CHEN ZH