国家/地区 | |
关键词 |
PLASMA CVD(2)![]() |
出版物 | |
出版时间 |
2018(2)![]() |
机构 | |
作者 |
NANOTECHNOLOGY
OBATA S, SATO M, AKADA K, SAIKI K
MICRO NANO LETTERS
ZHOU HT, LIU DB, LUO F, LUO BW, TIAN Y, CHEN DS, SHEN CM
国家/地区 | |
关键词 |
PLASMA CVD(2)![]() |
出版物 | |
出版时间 |
2018(2)![]() |
机构 | |
作者 |
NANOTECHNOLOGY
OBATA S, SATO M, AKADA K, SAIKI K
MICRO NANO LETTERS
ZHOU HT, LIU DB, LUO F, LUO BW, TIAN Y, CHEN DS, SHEN CM