国家/地区
关键词 PLASMA CVD(2)
出版物 APPLIED PHYSICS LETTERS(2)
出版时间
机构
作者

APPLIED PHYSICS LETTERS

KIM ES, SHIN HJ, YOON SM, HAN GH, CHAE SJ, BAE JJ, GUNES F, CHOI JY, LEE YH

APPLIED PHYSICS LETTERS

NANDAMURI G, ROUMIMOV S, SOLANKI R