| 国家/地区 | Usa（2） |
| 关键词 |
PLASMA ETCHING（2）
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| 出版物 | NANO RESEARCH（2） |
| 出版时间 | |
| 机构 | STANFORD UNI.（2） |
| 作者 |
JIAO LY（2）
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NANO RESEARCH
JIAO LY, XIE LM, DAI HJ
NANO RESEARCH
JIAO LY, ZHANG L, DING L, LIU JE, DAI HJ