| 国家/地区 | |
| 关键词 |
PLASMA ETCHING（3）
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| 出版物 | |
| 出版时间 |
2012（3）
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| 机构 | |
| 作者 |
NUCLEAR INSTRUMENTS METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION BBEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS ATOMS
NEUMANN PL, TOVARI E, CSONKA S, KAMARAS K, HORVATH ZE, BIRO LP
NANO RESEARCH
JIAO LY, XIE LM, DAI HJ
ADVANCED MATERIALS
PANG SP, YANG SB, FENG XL, MULLEN K