国家/地区 | |
关键词 | PLASMAENHANCED CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION(2) |
出版物 | |
出版时间 | 2019(2) |
机构 | |
作者 |
THIN SOLID FILMS
OTHMAN M, RITIKOS R, RAHMAN SA
MICRO NANO LETTERS
CHEN DS, ZHOU HT, TIAN Y, LUO F, LIU DB, LUO BW
国家/地区 | |
关键词 | PLASMAENHANCED CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION(2) |
出版物 | |
出版时间 | 2019(2) |
机构 | |
作者 |
THIN SOLID FILMS
OTHMAN M, RITIKOS R, RAHMAN SA
MICRO NANO LETTERS
CHEN DS, ZHOU HT, TIAN Y, LUO F, LIU DB, LUO BW