| 国家/地区 |
Usa（2）
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| 关键词 |
RESONATOR（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 |
2022（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
MICROMACHINES
CHO JH, CAYLL D, BEHERA D, CULLINAN M
ACS APPLIED ELECTRONIC MATERIALS
SEO M, YANG E, SHIN DH, JE Y, JOO C, LEE K, LEE SW