国家/地区 | Taiwan(2) |
关键词 | RF MAGNETRON SPUTTERING(2) |
出版物 | |
出版时间 | |
机构 | |
作者 |
THIN SOLID FILMS
TSAI MH, CHANG CJ, LU HH, LIAO YF, TSENG IH
SURFACE COATINGS TECHNOLOGY
LI TC, NGUYEN BS, CHIANG YC, HSIAO CL, LIN JF
国家/地区 | Taiwan(2) |
关键词 | RF MAGNETRON SPUTTERING(2) |
出版物 | |
出版时间 | |
机构 | |
作者 |
THIN SOLID FILMS
TSAI MH, CHANG CJ, LU HH, LIAO YF, TSENG IH
SURFACE COATINGS TECHNOLOGY
LI TC, NGUYEN BS, CHIANG YC, HSIAO CL, LIN JF