国家/地区
关键词 SILICON(3)
出版物 APPLIED PHYSICS LET.(2)
出版时间 2009(3)
机构
作者

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

FUJITA J, UEKI R, MIYAZAWA Y, ICHIHASHI T

APPLIED PHYSICS LETTERS

FRIEDEMANN M, PIERZ K, STOSCH R, AHLERS FJ

APPLIED PHYSICS LETTERS

ZHANG ZH, GUO WL