国家/地区 | |
关键词 |
SILICON(3)![]() |
出版物 | APPLIED PHYSICS LET.(2) |
出版时间 |
2009(3)![]() |
机构 | |
作者 |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
FUJITA J, UEKI R, MIYAZAWA Y, ICHIHASHI T
APPLIED PHYSICS LETTERS
FRIEDEMANN M, PIERZ K, STOSCH R, AHLERS FJ
APPLIED PHYSICS LETTERS
ZHANG ZH, GUO WL