国家/地区
关键词 SILICON COMPOUND(2)
出版物
出版时间 2011(2)
机构
作者

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

HATAKEYAMA T, KOMETANI R, WARISAWA S, ISHIHARA S

APPLIED PHYSICS LETTERS

MIWA RH, SCHMIDT TM, SCOPEL WL, FAZZIO A