国家/地区 | |
关键词 |
SPUTTERING(2)![]() |
出版物 | |
出版时间 |
2013(2)![]() |
机构 | |
作者 |
THIN SOLID FILMS
BANERJEE AN, JOO SW, MIN BK
ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES
LIU CH, CHEN XQ, HU YF, SHAM TK, SUN QJ, CHANG JB, GAO X, SUN XH, WANG SD