| 国家/地区 |
Japan(2)
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| 关键词 |
SUBSTRATE(2)
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| 出版物 | |
| 出版时间 | |
| 机构 | |
| 作者 |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
FUJITA J, UEKI R, MIYAZAWA Y, ICHIHASHI T
JOURNAL OF MEMBRANE SCIENCE
GUAN KC, USHIO K, NAKAGAWA K, SHINTANI T, YOSHIOKA T, MATSUOKA A, KAMIO E, JIN WQ, MATSUYAMA H
