国家/地区 Japan(2)
关键词 SUBSTRATE(2)
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作者

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

FUJITA J, UEKI R, MIYAZAWA Y, ICHIHASHI T

JOURNAL OF MEMBRANE SCIENCE

GUAN KC, USHIO K, NAKAGAWA K, SHINTANI T, YOSHIOKA T, MATSUOKA A, KAMIO E, JIN WQ, MATSUYAMA H