国家/地区 | Japan(2) |
关键词 | SUBSTRATE(2) |
出版物 | |
出版时间 | |
机构 | |
作者 |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
FUJITA J, UEKI R, MIYAZAWA Y, ICHIHASHI T
JOURNAL OF MEMBRANE SCIENCE
GUAN KC, USHIO K, NAKAGAWA K, SHINTANI T, YOSHIOKA T, MATSUOKA A, KAMIO E, JIN WQ, MATSUYAMA H