| 国家/地区 |
Canada（2）
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| 关键词 |
MEMS（2）
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| 出版物 | NANOTECHNOLOGY（2） |
| 出版时间 | |
| 机构 | |
| 作者 |
FILLETER T（2）
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NANOTECHNOLOGY
CAO CH, HOWE JY, PEROVIC D, FILLETER T, SUN Y
NANOTECHNOLOGY
CHEN H, FILLETER T