| 国家/地区 |
China（2）
|
| 关键词 |
MEMS（2）
|
| 出版物 | |
| 出版时间 | |
| 机构 |
TSINGHUA UNIV（2）
|
| 作者 |
LI P（2）
|
SENSORS ACTUATORS APHYSICAL
LI P, YOU Z, CUIA TH
JOURNAL OF MICROMECHANICS MICROENGINEERING
LI P, CUI TH