| 国家/地区 |
China（3）
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| 关键词 | |
| 出版物 | |
| 出版时间 |
2018（3）
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| 机构 | NORTHWEST UN.（2） |
| 作者 |
LIN QM（3）
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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
LUO YB, YAN X, WEI W, ZHANG MQ, ZHANG JN, LI B, ZHENG JH, LU QC, LIN QM, LIU W, ZHANG X, REN XM
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