国家/地区 China(3)
关键词 PHOTOLITHOGRAPHY(2) PLANAR ONCHIP MICRO.(2)
出版物
出版时间 2020(3)
机构 HARBIN UNIV .(2)
作者 LIU FS(3)

INTEGRATED FERROELECTRICS

LIU FS, LIU CF, LI X, ZHANG LD, ZHAO WQ, ZHANG GY