| 国家/地区 |
China（3）
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| 关键词 | |
| 出版物 | |
| 出版时间 |
2018（3）
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| 机构 | |
| 作者 |
SUN LC（3）
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JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY A
MENG DH, YAN RX, REN GH, SUN LC, WANG LN, GUO CW, WANG L, SHAO RP, WANG Y, SUN W
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