| 国家/地区 |
China（2）
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| 关键词 |
MEMS（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 | |
| 机构 | TSINGHUA UNI.（2） |
| 作者 |
LI P（2）
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SENSORS ACTUATORS APHYSICAL
LI P, YOU Z, CUIA TH
JOURNAL OF MICROMECHANICS MICROENGINEERING
LI P, CUI TH