| 国家/地区 |
China（2）
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| 关键词 |
PLASMAENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 |
2020（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
THIN SOLID FILMS
ZHENG JJ, XU X, ZHANG Y, XIE QY, WU XM, YU KH, WEI W
MATERIALS
CHEN FY, FAN ZQ, ZHU YG, SUN HF, YU JH, JIANG N, ZHAO SC, LAI GS, YU AM, LIN CT, YE C, FU L