| 国家/地区 |
Germany(2)
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| 关键词 | |
| 出版物 | |
| 出版时间 |
2019(2)
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| 机构 |
IHP LEIBNIZ INST INNOVAT MIKROELEKT(2)
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| 作者 |
LUKOSIUS M(2)
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THIN SOLID FILMS
AKHTAR F, DABROWSKI J, LISKER M, ZAUMSEIL P, SCHULZE S, JOUVRAY A, CABAN P, MAI A, WENGER C, LUKOSIUS M
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
FURSENKO O, LUKOSIUS M, BAUER J, VILLRINGER C, LUX H, BARWOLF F, LISKER M, MAI A
