国家/地区 Germany（5）
关键词 CHEMICAL VAPOR DEPO.（2） GRAPHENE（2）
出版物 JOURNAL OF APPLIED .（2）
出版时间 2019（3） 2020（2）
机构 IHP LEIBNIZ INST INNOVAT MIKROELEKT（5）
作者 WENGER C（4） DABROWSKI J（3） LISKER M（3） LUKOSIUS M（3）
MAI A（3） AKHTAR F（2） BECKER A（2）

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