国家/地区 | India(3) |
关键词 | PECVD(3) |
出版物 | |
出版时间 | |
机构 | |
作者 | SHARMA SC(3) |
IEEE TRANSACTIONS ON NANOTECHNOLOGY
KUMAR M, KHANNA S, GUPTA N, GUPTA R, SHARMA SC
PLASMA CHEMISTRY PLASMA PROCESSING
SHARMA S, SHARMA SC
CONTRIBUTIONS TO PLASMA PHYSICS
GUPTA N, GUPTA R, SHARMA SC