国家/地区 | Japan(2) |
关键词 | |
出版物 | JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B(2) |
出版时间 | |
机构 | OSAKA PREFEC.(2) |
作者 | KAWATA H(2) |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
YAMAMOTO M, ASAYAMA Y, YASUDA M, KAWATA H, HIRAI Y
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
ASAYAMA Y, YASUDA M, TADA K, KAWATA H, HIRAI Y