国家/地区 Japan(2)
关键词
出版物 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B(2)
出版时间
机构 OSAKA PREFEC.(2)
作者 KAWATA H(2)

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

YAMAMOTO M, ASAYAMA Y, YASUDA M, KAWATA H, HIRAI Y

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

ASAYAMA Y, YASUDA M, TADA K, KAWATA H, HIRAI Y