| 国家/地区 |
Japan（2）
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| 关键词 | |
| 出版物 | |
| 出版时间 |
2018（2）
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| 机构 | |
| 作者 |
YAMADA Y（2）
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ACS OMEGA
KIM J, LEE N, MIN YH, NOH S, KIM NK, JUNG S, JOO M, YAMADA Y
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
MURAKAMI K, TANAKA S, IIJIMA T, NAGAO M, NEMOTO Y, TAKEGUCHI M, YAMADA Y, SASAKI M