国家/地区 | Japan(2) |
关键词 | |
出版物 | |
出版时间 | 2010(2) |
机构 | JAPAN SCI TECHNOL AGCY(2) |
作者 | SAITO T(2) |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
FUJITA J, MIYAZAWA Y, UEKI R, SASAKI M, SAITO T
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
FUJITA J, MIYAZAWA Y, UEKI R, SASAKI M, SAITO T