国家/地区 Japan（2）
关键词
出版物 JAPANESE JOURNAL OF.（2）
出版时间 2014（2）
机构 NATL INST ADV IND SCI TECHNOL（2）
作者 SATO S（2）

Integration of multilayer graphene wires onto tungsten plugs for carbon/metal hybrid interconnects

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

SATO M, TAKAHASHI M, NIHEI M, SATO S, YOKOYAMA N

Intercalated multilayer graphene wires and metal/multilayer graphene hybrid wires obtained by annealing sputtered amorphous carbon

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

SATO M, TAKAHASHI M, NAKANO H, TAKAKUWA Y, NIHEI M, SATO S, YOKOYAMA N