国家/地区 Japan(3)
关键词 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION(3)
出版物
出版时间 2023(3)
机构
作者

ASIAPACIFIC JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING

YOSHIHARA N, TAHARA Y, NODA M

APPLIED PHYSICS EXPRESS

KATO M, INOUE T, CHIEW YL, CHOU YK, NAKATAKE M, TAKAKURA S, WATANABE Y, SUENAGA K, KOBAYASHI Y