国家/地区 | Japan(3) |
关键词 | CHEMICAL VAPOR DEPOSITION(3) |
出版物 | |
出版时间 | 2023(3) |
机构 | |
作者 |
NANOTECHNOLOGY
HAYASHI K, FUSHIMI N, KATAOKA M, KONDO D, SATO S
ASIAPACIFIC JOURNAL OF CHEMICAL ENGINEERING
YOSHIHARA N, TAHARA Y, NODA M
APPLIED PHYSICS EXPRESS
KATO M, INOUE T, CHIEW YL, CHOU YK, NAKATAKE M, TAKAKURA S, WATANABE Y, SUENAGA K, KOBAYASHI Y