国家/地区 Japan(4)
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机构 JAPAN ADV INST SCI TECHNOL(4)
作者 KULOTHUNGAN J(4)

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

WANG WZ, MURUGANATHAN M, KULOTHUNGAN J, MIZUTA H

MICROMACHINES

KULOTHUNGAN J, MURUGANATHAN M, MIZUTA H