国家/地区 Korea(3)
关键词 ATOMIC LAYER DEPOSITION(3)
出版物
出版时间 2020(3)
机构
作者

APPLIED SURFACE SCIENCE

LEE SM, PARK YJ, LAM DV, KIM JH, LEE K

ACS APPLIED MATERIALS INTERFACES

KIM M, NABEYA S, HAN SM, KIM MS, LEE S, KIM HM, CHO SY, LEE DJ, KIM SH, KIM KB