| 国家/地区 |
Korea（2）
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| 关键词 |
PECVD（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 |
2019（2）
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| 机构 |
SUNGKYUNKWAN UNIV（2）
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| 作者 |
ELECTRONIC MATERIALS LETTERS
SEO HJ, GIL YE, HWANG KH, ANANTH A, BOO JH
APPLIED SURFACE SCIENCE
KIM HU, KIM M, JIN Y, HYEON Y, KIM KS, AN BS, YANG CW, KANADE V, MOONN JY, YEOM GY, WHANG D, LEE JH, KIM T