| 国家/地区 |
Usa（2）
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| 关键词 |
NANOELECTROMECHANICAL SYSTEMS NEMS（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 |
2018（2）
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| 机构 | |
| 作者 | FENG PXL（2） |
MICROMACHINES
MEI TD, LEE JS, XU YH, FENG PXL
NANO LETTERS
YE F, LEE J, FENG PXL