国家/地区 Usa(2)
关键词
出版物 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B(2)
出版时间
机构 N CAROLINA STATE UNIV(2)
作者

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

STUART SC, SATCHET E, SANDIN A, MARIA JP, ROWE JE, DOUGHERTY DB, ULRICH M