| 国家/地区 |
Usa（2）
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| 关键词 |
MEMS（2）
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| 出版物 | |
| 出版时间 | |
| 机构 |
NORTHEASTERN UNIV（2）
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| 作者 | KAR S（2） |
MICROSYSTEMS NANOENGINEERING
QIAN ZY, HUI Y, LIU FZ, KANG SH, KAR S, RINALDI M
SMALL
WADUGE P, LARKIN J, UPMANYU M, KAR S, WANUNU M