国家/地区 Japan(3)
关键词 CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION(3)
出版物 JOURNAL OF VACUUM S.(2)
出版时间 2011(3)
机构
作者

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

HATAKEYAMA T, KOMETANI R, WARISAWA S, ISHIHARA S

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B

MATSUOKA Y, CLARK IT, YOSHIMURA M

APPLIED PHYSICS LETTERS

OKANO M, MATSUNAGA R, MATSUDA K, MASUBUCHI S, MACHIDA T, KANEMITSU Y