国家/地区 Usa（2）
关键词 ATOMIC LAYER DEPOSITION（2）
出版物
出版时间 2012（2）
机构
作者 COLOMBO L（2）

Atomic Layer Deposition of Dielectrics on Graphene Using Reversibly Physisorbed Ozone

ACS NANO

JANDHYALA S, MORDI G, LEE B, LEE G, FLORESCA C, CHA PR, AHN J, WALLACE RM, CHABAL YJ, KIM MJ, COLOMBO L, CHO K, KIM J

Scaling of Al2O3 dielectric for graphene field-effect transistors

APPLIED PHYSICS LETTERS

FALLAHAZAD B, LEE K, LIAN G, KIM S, CORBET CM, FERRER DA, COLOMBO L, TUTUC E