| 国家/地区 |
Japan(2)
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| 关键词 | |
| 出版物 |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B(2)
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| 出版时间 |
2012(2)
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| 机构 | |
| 作者 |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
ASAYAMA Y, YASUDA M, TADA K, KAWATA H, HIRAI Y
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE TECHNOLOGY B
YAMASHIRO Y, OHNO Y, MAEHASHI K, INOUE K, MATSUMOTO K
